ウェハ計測

露光前に測って直す　ニコン、新アライメント装置を開発

ニコンは2025年12月11日、半導体露光装置と組み合わせて使うアライメントステーションの新機種「Litho Booster 1000」を開発中だと発表した。露光前にウェハを細かく計測し、補正値を露光装置へ反映させることで重ね合わせ精度を高め、3D構造を採用する先端デバイスの歩留まり向上を狙う。発売は2026年後半を予定する。