ニコンがKrF露光装置を刷新 19年ぶり新型を26年度投入
ニコンが2026年度に、200ミリ・300ミリメートルウエハーに対応した新型のフッ化クリプトン（KrF、波長248nm）露光装置を投入する。KrF機の刷新は約19年ぶりで、従来機よりスループット（処理能力）を高める。狙いは性能競争というより、既存のフォトマスク（回路原板）や製造レシピを生かした「置き換えのしやすさ」で、老朽化したニコン製装置の更新需要を取り込む点にある。
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露光前に測って直す ニコン、新アライメント装置を開発
ニコンは2025年12月11日、半導体露光装置と組み合わせて使うアライメントステーションの新機種「Litho Booster 1000」を開発中だと発表した。露光前にウェハを細かく計測し、補正値を露光装置へ反映させることで重ね合わせ精度を高め、3D構造を採用する先端デバイスの歩留まり向上を狙う。発売は2026年後半を予定する。
