固体レーザー

2μm固体レーザーでEUV光変換効率3.6%　理研などが2ビーム同時照射の有効性を実証

理化学研究所と宇都宮大学などの国際共同研究グループは2026年8月25日、2μm固体レーザーを使った極端紫外（EUV）光発生で、2ビーム同時照射により変換効率を2.6%から3.6%へ約40%向上させたと発表した。総レーザーエネルギーは40mJで同じだった。