芦田昌明

半導体薄膜を光で瞬時測定　阪大などが電極不要の新技術開発

半導体薄膜の電気的特性を、電極を作らずに光だけで瞬時に見積もる——。大阪大学の岡本章宏大学院生、永井正也准教授、芦田昌明教授らは1月27日、日邦プレシジョン（山梨県韮崎市）と共同で、反射係数から薄膜の面伝導度を直接導く解析モデルを開発したと発表した。