KrF

ニコンがKrF露光装置を刷新　19年ぶり新型を26年度投入

ニコンが2026年度に、200ミリ・300ミリメートルウエハーに対応した新型のフッ化クリプトン（KrF、波長248nm）露光装置を投入する。KrF機の刷新は約19年ぶりで、従来機よりスループット（処理能力）を高める。狙いは性能競争というより、既存のフォトマスク（回路原板）や製造レシピを生かした「置き換えのしやすさ」で、老朽化したニコン製装置の更新需要を取り込む点にある。