ニコンがKrF露光装置を刷新 19年ぶり新型を26年度投入
ニコンは2026年度に200mm・300mmウエハー対応の新型フッ化クリプトン（KrF、248nm）露光装置を投入。約19年ぶりの刷新でスループットを向上させ、既存フォトマスクや製造レシピを生かした「置き換えのしやすさ」で老朽化した装置の更新需要を狙う。
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露光前に測って直す ニコン、新アライメント装置を開発
ニコンは、半導体露光装置と組み合わせるアライメント新機種「Litho Booster 1000」を開発中と発表。ウェハを高精度計測して補正値を露光装置に反映し、3D構造の先端デバイスで重ね合わせ精度と歩留まりを改善、2026年後半発売予定。
