先端半導体向け紫外レーザーで高出力化、ヌヴォトンが1W品を量産開始
先端半導体パッケージのマスクレス露光向け光源で、ヌヴォトンテクノロジージャパンが波長379nm・出力1.0Wの紫外半導体レーザー「KLC330FL01WW」を開発し、2026年1月に量産を開始。業界の高出力化が一段進展、露光装置やパッケージ工程での採用が期待される。
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先端半導体パッケージのマスクレス露光向け光源で、ヌヴォトンテクノロジージャパンが波長379nm・出力1.0Wの紫外半導体レーザー「KLC330FL01WW」を開発し、2026年1月に量産を開始。業界の高出力化が一段進展、露光装置やパッケージ工程での採用が期待される。