日邦プレシジョン

半導体薄膜を光で瞬時測定　阪大などが電極不要の新技術開発

大阪大学と日邦プレシジョンが、電極を作らず光だけで反射係数から半導体薄膜の面伝導度を直接導く解析モデルを開発。瞬時非接触で評価可能な手法は製造プロセスの迅速検査や非破壊評価に応用期待される。岡本章宏氏らの研究チームが1月27日に発表、産業向けの高速非接触測定技術として注目される。