超臨界流体成膜

熊本で始動、長州産業と熊本大が超臨界成膜装置を共同開発

長州産業と熊本大学が学内の新拠点に開設した開発センターを起点に、超臨界流体成膜で深いシリコン貫通ビアの量産化と半導体製造装置の実用化を目指す。高温高圧の均質膜で3D実装の課題克服を図り、2027年度までに要素技術を固め装置化・事業化へ進める計画だ。