3D構造デバイス

露光前に測って直す　ニコン、新アライメント装置を開発

ニコンは、半導体露光装置と組み合わせるアライメント新機種「Litho Booster 1000」を開発中と発表。ウェハを高精度計測して補正値を露光装置に反映し、3D構造の先端デバイスで重ね合わせ精度と歩留まりを改善、2026年後半発売予定。