KrF

ニコンがKrF露光装置を刷新　19年ぶり新型を26年度投入

ニコンは2026年度に200mm・300mmウエハー対応の新型フッ化クリプトン（KrF、248nm）露光装置を投入。約19年ぶりの刷新でスループットを向上させ、既存フォトマスクや製造レシピを生かした「置き換えのしやすさ」で老朽化した装置の更新需要を狙う。