本サイトの記事や画像はAIが公的資料や報道を整理し制作したものです。[続きを表示]ただし誤りや不確定な情報が含まれることがありますので、参考の一助としてご覧いただき、実際の判断は公的資料や他の報道を直接ご確認ください。[私たちの取り組み]
ニコンが2026年度に、200ミリ・300ミリメートルウエハーに対応した新型のフッ化クリプトン（KrF、波長248nm）露光装置を投入する。KrF機の刷新は約19年ぶりで、従来機よりスループット（処理能力）を高める。狙いは性能競争というより、既存のフォトマスク（回路原板）や製造レシピを生かした「置き換えのしやすさ」で、老朽化したニコン製装置の更新需要を取り込む点にある。
止まらないラインを守る装置更新、鍵は「そのまま使える」
新型機は2007年発売のKrF露光装置の後継にあたり、互換性を強く意識して設計する。古い装置は交換部品の確保が難しく、点検や修理のたびに復旧計画が揺らぐ。工場側にとっては、止められない量産ラインを抱えたまま更新時期を迎えるのが現実で、装置だけでなく周辺の段取り替えまで含めた負担が大きい。
そこで「マスクやレシピを共有できる」という提案は重い。露光装置の入れ替えでは、条件出しや歩留まりの再確認がボトルネックになりがちだが、互換性が高ければ立ち上げ期間の短縮が見込める。200ミリと300ミリの両方を視野に入れる点も、同じ工場内で世代の異なるラインを併設するケースを想起させ、更新の現場を強く意識した打ち手と言える。
「成熟プロセス」の投資を軽くする一方、次の論点も残る
KrFは最先端の微細化を担う主役ではないが、電源、アナログ、センサーなどで使われる成熟プロセスの量産では、装置の安定稼働と総コストが決定的になる。ニコンはKrFスキャナーとして、300ミリ対応やスループット指標を示す製品群も持つ。今回の新型は、そうした「量産の足腰」を支える領域で、更新を先送りしてきたユーザーに背中を押す位置付けになりそうだ。
ただ、互換性を優先するほど、プロセス刷新の自由度をどこまで確保できるかというトレードオフもある。次の焦点は、更新需要がどれだけ顕在化するかに加え、新型機の立ち上げ支援や部品供給まで含めたサービス体制をニコンがどの水準で提示できるかだ。
