ラピダス新工場(北海道千歳市)で製造実行システム(MES)稼働、量産準備へ

最先端半導体の量産へ、ラピダスが「司令塔」導入 IBMと連携

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国産の最先端半導体量産を目標に掲げるラピダスの新工場「IIM-1」(北海道千歳市)で、生産現場の“司令塔”となる製造実行システム(MES)が動き出した。日本IBMが半導体工場向けMES「IBM IndustryView for Semiconductor Standard(SiView Standard)」を納入し、2025年4月から稼働している。製造装置の立ち上げと同時にデータ管理基盤を整える点が異例で、量産準備の速度と品質の再現性が問われる段階に入った。

IIM-1の基幹に据えたMES 4月稼働で立ち上げを短縮

日本IBMの発表によると、SiView Standardはラピダスの最先端半導体製造拠点IIM-1に導入され、2025年4月から運用を開始した。MESは工場内で「いつ・どの装置で・どの条件で・何を処理したか」を工程単位で統合管理する中枢であり、歩留まり改善や品質保証の前提になる。最先端ロジックでは工程数が膨大で、装置・搬送・計測が同時並行に動くため、現場の実行系を早期に固められるかが立ち上げ期間を左右する。今回の導入は、量産に至るまでの“作り込み”をソフトウェア面から先行させる狙いが強い。

同社の説明では、SiView Standardは1980年代にIBM野洲工場で使われた自社向けソリューションを起源とし、約30年にわたり国内外の半導体工場で展開してきたという。TECH+は、IIM-1の建設前からデジタルツイン(仮想工場)上で導入試験や能力検証を進め、短期間での実装・立ち上げを支援したと報じている。工場が完成してからシステムを合わせ込む従来型と比べ、装置仕様や運用ルールの詰めを前倒しできる一方、設計段階の変更がそのままシステム側に波及するため、統制の取り方が難しくなる。逆に言えば、そこで整合を取れれば、量産フェーズでの手戻りを減らせる構図である。

2nm量産への土台 データ駆動の品質管理が焦点

MONOistは、今回のMES導入が工場の自動化と早期立ち上げを下支えする位置付けだと伝えている。IBMの製品説明では、ウェーハやロット、搬送容器(FOUP)などをリアルタイムに追跡しながら、工程の進行と装置の状態を統合して扱える点を特徴に挙げる。さらに、工場内のイベントを検知して運用ルールを走らせる仕組みや、生産能力・滞留(WIP)を見通すシミュレーション機能などを通じ、現場判断を“人の経験”から“データの規律”へ寄せる設計思想が見える。先端ノードでは微小な条件差が不良やばらつきに直結しやすく、トレーサビリティーと工程制御の精度が競争力そのものになる。

ラピダスが掲げる2nm級ロジックの量産は、装置・材料・設計資産・顧客獲得が同時に進まなければ成立しないため、MES導入だけで成功が保証されるわけではない。とはいえ、量産の可否を左右する「品質データをどう集め、どう因果で結び、どう是正するか」を標準化できるかは、外部パートナーとの分業が増えるほど重要になる。現場でのデータ定義が揺らげば、歩留まり改善の速度が落ち、監査対応や顧客認定にも時間がかかるからだ。IIM-1で実行系の基盤を先に固めたことは、国内で先端製造を成立させるうえで、設備投資と同じくらい“運用の設計”がボトルネックになっている現実を示している。

参考・出典

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