2μm固体レーザーでEUV光変換効率3.6% 理研などが2ビーム同時照射の有効性を実証
理化学研究所と宇都宮大学などの国際共同研究グループは2026年8月25日、2μm固体レーザーを使った極端紫外（EUV）光発生で、2ビーム同時照射により変換効率を2.6%から3.6%へ約40%向上させたと発表した。総レーザーエネルギーは40mJで同じだった。
EUV露光装置
本ページでは「EUV露光装置」をテーマとした記事を一覧で掲載しています。
Tag
次世代EUV露光装置が量産へ ASMLが量産開始の条件整うと表明
AI向け半導体の需要が膨らむなか、最先端の微細化を左右する露光装置が「研究」から「工場」へ移り始める。米カリフォルニア州サンノゼで26日（日本時間27日）、ASMLは次世代の高開口数（High-NA）EUV露光装置について、半導体メーカーが量産向けに使い始めるための条件がそろいつつあるとの見方を示した。
