超臨界流体成膜

熊本で始動、長州産業と熊本大が超臨界成膜装置を共同開発

装置の図面を囲む技術者たちが熊本市の研究棟で身を寄せ合う。長州産業が熊本大学と組み、超臨界流体成膜で半導体製造装置の実用化に挑む。学内の新拠点に開設した開発センターを起点に、深いシリコン貫通ビアの量産対応を狙う構えだ。高温高圧の流体が運ぶ均質な膜で、3D実装のボトルネックを越える。要素技術は2027年度までに固める計画で、装置化と事業化へ前進する。